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超聲波掃描顯微鏡

超聲波掃描顯微鏡使用高頻超聲波(15MHz~2GHz)對試件內部、亞表面和表面等進行觀察及定性定量分析。其可以非破壞性、精細、高靈敏度地對試件微觀形貌、微損傷及力學性能進行表征,廣泛應用于微電子、集成電路、材料、航空航天和生物等領域的科學研究及過程質量控制。


產品特點

15MHz~500MHz超聲顯微檢測

4通道實時高效成像

缺陷檢測:內部空洞、分層、夾雜、氣泡和裂紋,用于晶元鍵合、SMT焊接、芯片封裝、MEMS器件、觸摸層、復合材料、材料涂覆層等過程質量控制

材料表征與分析:力學性能測量、金相分析、蠕變孔洞、疲勞微裂紋、粘接強度等

參數配置

Z軸行程

120mm

掃描區域

用戶自定義

脈沖形式

負極性脈沖

供電方式

交流電220V±10%,頻率50Hz±5%

結構形式

臺式

自動對焦

可實現表面、內部任意界面自動對焦

時間估算

整體及剩余用時估算

缺陷量化

可實現缺陷自動識別及量化

邊緣測定

可自動尋找被測樣品的中心位置和樣品邊緣,自動設定掃描范圍

力學性能測試

可用于材料表層力學性能分析,具備表面波速、泊松比、楊氏模塊、剪切模量和體積模量等參數測量功能

表面跟蹤掃描

可設置參考閘門,實現成像閘門跟隨功能。可解決由于樣品不平造成的圖像失真問題


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